臭氧催化氧化技术工艺是基于臭氧高级氧化技术，将臭氧的强氧化性和催化剂、活性炭的吸附、催化特性结合起来，利用臭氧分子在催化剂表面产生的高反应活性自由基中间体,尤其是羟基自由基氧化去除污水中难生物降解有机物的过程。能较为有效地解决有机物降解不完全的问题。在污水处理，降低COD、bod，去除氨氮，脱色脱硝，反渗透浓水，提标改造，垃圾渗透液，焦化废水，废气除臭等方面效果显著。

臭氧的灭菌效果在湿度为70-80%条件下效果最理想，在湿度低于45%时效果较差，所以一般使用中，特别是制药车间无菌室、病房等使用应注意在环境中适当增加湿度。用于空气消毒用臭氧发生器多是使用陶瓷片高频放电的模式，它具有结构简单、性能可靠、运行费用低及调节灵活等优点。

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